Геттерный вакуумный насос, в к-ром наряду с хемосорбцией возникает ионизация газа с последующим поглощением ускоренных ионов распылённым геттером. Различают испарительно-ионные насосы, в к-рых ионизиров. газ направляется к непрерывно или периодически испаряемой поверхности геттера, и магнитные электроразрядные насосы.